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什么是净化车间

2020-12-23

什么是净化车间?


净化车间是指在一定空间内排除空气中的颗粒、有害空气、细菌等污染物,将室内温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、噪声振动、照明、静电控制在规定要求范围内的专门设计的房间。也就是说,无论外部空调如何变化,其内部都可以具有保持原本要求的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特点。


定义净化车间。

净化室的主要功能是控制产品(如硅片等)接触空气的洁净度、温度和湿度。),使产品能在良好的环境空间中生产制造,这就是所谓的净化室。按照国际惯例,无尘净化等级主要根据空气中粒径大于每立方米的颗粒数量来确定。也就是说,所谓无尘不是没有灰尘,而是控制在一个更小的单元里。的确,这个标准中的尘埃粒子与我们常见的尘埃相比微不足道,但是对于光学结构来说,即使是微小的尘埃也会产生很大的负面影响。因此,无尘生产光学结构是必然要求。


小于0.3微米/立方米的颗粒数控制在3500以下,达到国际无尘A级标准。目前芯片级生产加工的无尘标准对粉尘的要求比A级高,这个高标准主要适用于一些高档芯片生产。粉尘量在5μm以下,严格控制在每立方米1000以内,即工业上常见的1K级。


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